光刻机主要由工件台、投影物镜和光源三大核心子系统件组成。资料显示，光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、 镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备)，价值含量极大，在制造设 备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。
目前来看，光刻机的主要生产商包括荷兰 ASML、日本尼康、日本佳能和上海微电子。方正证券（7.13 -0.83%，诊股）研报显示，目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ， 三者2019年度IC前道制造光刻机出货量占比高达99%，在当前局势下，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义 。
光刻机概念龙头股有哪些？
300429强力新材
603078江化微
300537广信材料
300346南大光电
002426胜利精密
300236上海新阳
002169智光电气
688019安集科技
688268华特气体
688037芯源微
600078澄星股份
002409雅克科技
300200高盟新材
002741光华科技
300331苏大维格
002324普利特
300031宝通科技
300623捷捷微电
300576容大感光
300456耐威科技
300655晶瑞股份
002584西陇科学
300538同益股份
300287飞利信
300721怡达股份
300032金龙机电
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